Difluorometano R32 como gás de gravação a seco para Si3N4

R32 Difluorometano também conhecido como HFC-32, fórmula molecular: CH2F2, como gás de ataque anisotrópico para Si3N4, possui uma seletividade relativamente baixa para SiO2 e Si. Além de ser o corrosivo principal, também pode ser usado como gás auxiliar para outros corrosivos principais para ajustar a relação flúor/carbono.

 

R32 – Principais características:

1. Sem destruição da camada de ozônio

2.Não tóxico

3. Gás hidrofluorcarbono (HFC)

4.Óleo: POE (Óleo Poli Olester)

Na era moderna da fabricação de semicondutores, onde a precisão e a miniaturização são fatores-chave, o processo de gravação desempenha um papel vital. A gravação é uma técnica complexa usada para remover seletivamente camadas de material de wafers semicondutores, permitindo a criação de padrões de circuitos complexos.

A gravação a seco é o uso de gás para gravar o meio. Os métodos comuns de gravação a seco incluem gravação física (como gravação por feixe de íons) e gravação química por vapor (como gravação por plasma). O gás é usado para impactar a superfície do substrato para riscar e sua característica é a alta precisão de processamento.

R32 Difluorometano é um gás de gravação a seco comumente usado, amplamente utilizado em processos de gravação a plasma na indústria eletrônica. Além disso, é também um refrigerante com potencial zero de destruição da camada de ozônio e é amplamente utilizado em equipamentos de refrigeração, como condicionadores de ar, refrigeradores e condicionadores de ar de automóveis. Comparado com os refrigerantes tradicionais, o gás R32 apresenta maior eficiência de refrigeração e menor impacto ambiental.

Xiamen Juda é fornecedora líder de soluções de gás de gravação e refrigeração na China, oferecendo uma ampla gama de produtos como R32, C4F8, SF6, CF4 e gás refrigerante. Fundada em 1988 por um dos pioneiros na fabricação de produtos químicos da China, Juhua Group Corporation, a Xiamen Juda dedica-se à exportação de produtos químicos fluorados desde 2004. Nossa equipe está comprometida com a excelência e fornecendo soluções de gás de primeira linha para atender às necessidades de nossos clientes. Temos orgulho de nossa reputação de longa data de qualidade e confiabilidade. Com o Xiamen Juda, você pode confiar que está obtendo o que há de melhor no setor.