FFKM é um material de vedação de alto desempenho. Seu excelente desempenho permitiu que sua aplicação penetrasse em todo o sistema de fabricação de produtos semicondutores. Entre eles, os anéis de vedação FFKM são um dos principais consumíveis necessários para a produção de circuitos integrados.
a estrutura e as características de desempenho do FFKM
FFKM é copolimerizado por tetrafluoroetileno (TFE), perfluoroalquil vinil éter (PAVE) como os principais monômeros e uma pequena quantidade de monômero de ponto de cura (CSM). Conforme mostrado na figura abaixo, todos os átomos de carbono no polímero Os átomos de hidrogênio na borracha são todos substituídos por átomos de flúor, tornando-a uma borracha que não contém ligações CH.
Principais características de desempenho do FFKM:
1) Propriedades físicas
A densidade do FFKM é 1.9-2.0g/cm³. Suas propriedades mecânicas em temperatura normal são próximas às da borracha fluorada (FKM) à base de fluoreto de vinilideno (VDF), mas suas propriedades mecânicas em alta temperatura são melhores do que as da borracha fluorada.
2) Resistência química
Não há átomos de hidrogênio na cadeia molecular FFKM, e as ligações CC são basicamente cercadas por uma camada composta de átomos F, mostrando forte inércia química e tornando o polímero significativamente resistente a produtos químicos.
3) Resistência a altas e baixas temperaturas
A temperatura operacional do FFKM é geralmente de 260~290 graus, e pode ser usado intermitentemente em altas temperaturas de 316 graus. Como um grande número de grupos -OCF3 são introduzidos nas cadeias ramificadas das moléculas, a flexibilidade das moléculas é melhorada e a resistência a baixas temperaturas da borracha é melhorada.
4) Resistência ao plasma
Em um ambiente de plasma, ele exibe características de produto de alta limpeza e baixa precipitação, e pode suportar bombardeio de plasma por um longo tempo.
Aplicações do fFKM em semicondutores
Na fabricação de semicondutores, a confiabilidade dos selos elastoméricos é crítica porque as paradas de produção para substituir os selos são extremamente caras. Para evitar riscos potenciais, os requisitos para a limpeza e pureza dos selos são muito rigorosos. Ao mesmo tempo, os selos devem ser capazes de trabalhar por um longo tempo no ambiente de pressão de alta temperatura, alto vácuo e gases químicos corrosivos.
Em termos de aplicações de semicondutores, a FFKM se concentra principalmente em:
1) Vedação de gás: No processo de fabricação de semicondutores, o processamento e o transporte de vários gases são essenciais. Os anéis O FFKM são usados para vedar gasodutos, válvulas e juntas para garantir que o gás não vaze e manter a estabilidade do processo.
2) Gravação e limpeza: As etapas de gravação e limpeza em processos de semicondutores geralmente envolvem o uso de meios corrosivos, como ácidos fortes ou álcalis. Os anéis de vedação FFKM são amplamente usados em peças de equipamentos em contato com esses meios, como câmaras de gravação, tanques de limpeza, etc., devido à sua excelente resistência à corrosão.
3) Transporte de líquidos e produtos químicos: Na fabricação de semicondutores, vários líquidos e produtos químicos precisam ser transportados, como soluções, solventes, fluidos de limpeza, etc. O anel de vedação FFKM pode ser usado para vedar componentes de equipamentos, como tubos, válvulas e bombas, para garantir a entrega segura do meio.
4) Ambiente de alta temperatura: Certas etapas no processo de semicondutores precisam ser realizadas em um ambiente de alta temperatura, como tratamento térmico, recozimento, etc. Os anéis de vedação FFKM têm excelente resistência a altas temperaturas e são capazes de manter sua elasticidade e propriedades de vedação em altas temperaturas.
5) Tratamento de água ultrapura: Na fabricação de semicondutores, a água ultrapura é usada para limpar e purificar equipamentos e materiais. Os anéis de vedação FFKM são amplamente usados para vedar equipamentos de tratamento de água ultrapura para evitar a entrada de impurezas e contaminantes.
Devido ao alto custo das matérias-primas de borracha FFKM, as condições de trabalho onde as vedações FFKM são geralmente usadas são extremamente severas. Sob essas condições de trabalho severas, outras borrachas são propensas à corrosão, inchaço, dissolução, envelhecimento e endurecimento, etc., resultando em falha de vedação e, portanto, não podem atender aos requisitos de vedação. Devido à sua excelente resistência à corrosão e alta resistência à temperatura, a borracha FFKM pode não apenas atender aos requisitos de vedação de condições de trabalho severas, mas também aumentar a vida útil das vedações e reduzir os custos de manutenção dos clientes.
